上海晰微光电193nm紫外熔融石英窗口片具有激光级表面质量和平行度，可将传输波前畸变限制至 λ/10。超高透过率，193nm透过率＞98%。适用于ArF准分子激光器（193nm波长）应用。

        晶圆缺陷检测：193nm 激光能够分辨更小的晶圆表面缺陷。高透过率窗口片用于检测光路的密封和保护。

        深紫外光谱分析：在材料科学、化学分析领域，193nm 深紫外光谱用于分析材料的电子结构、化学键特性。

        激光腔镜保护窗口：在 ArF 准分子激光器的谐振腔内，窗口片可用于保护高反射腔镜，防止腔镜被激光器放电过程中产生的等离子体或杂质污染。

        激光加工与微纳制造：193nm 激光可用于高精度微纳加工。

        上海晰微光可以提供由不同的石英材料制成的各种激光/保护/视窗窗口。可根据客户要求定制专门的尺寸和材料，单层或多层抗反射涂层的光学窗口。

        上海晰微光电通过对抛光、镀膜工艺、胶合工艺的精密管控可以稳定提供该类产品，接受各种规格的窗口片定制。

• Coning 7980-ARF级