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上海晰微光电技术有限公司
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深紫外DUV真空兼容波片

深紫外DUV真空兼容波片

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深紫外真空兼容波片安装在未经阳极化的铝制外壳中，具有无粘合剂结构，可减少真空环境中的气体泄漏。这些波片针对257nm或266nm的设计波长进行优化，透射率高于99.8%，并提供λ/2或λ/4延迟的选项。这些波片具有优越的延迟容限和零级构造，以及大带宽和低温敏特性。” 深紫外真空兼容拨片在安装部件边缘标有快轴慢轴，方便识别和系统集成。这些波片适用于生命科学和光刻微影应用等需要真空环境的场景。


  • 有257nm 和266nm 的深紫外波段的波片可供选择

  • 适用于真空兼容的应用场景

  • 安装部件未经阳极氧化，产品构造未使用胶粘剂

                           产品

标题产品编码CA (mm)涂层DWL (nm)Dia. (mm)基底延迟性表面质量厚度 (mm)类型构造 传输波前，P-V (λ)平行度（弧秒）
DUV Waveplate λ/2 257nm 12.7mm Dia29-969>7 Laser V-Coat (257nm) 257 12.70 +0.00/-0.25Crystal Quartz λ/2 10 - 5 6.00 Crystalline Waveplate Crystalline λ/10 @632.8nm <3 
DUV Waveplate λ/2 266nm 12.7mm Dia29-968>7 Laser V-Coat (266nm) 266 12.70 +0.00/-0.25Crystal Quartz λ/2 10 - 5 6.00 Crystalline Waveplate Crystalline λ/10 @632.8nm <3 
DUV Waveplate λ/4 257nm 12.7mm Dia29-984>7 Laser V-Coat (257nm) 257 12.70 +0.00/-0.25Crystal Quartz λ/4 10 - 5 6.00 Crystalline Waveplate Crystalline λ/10 @632.8nm <3 
DUV Waveplate λ/4 266nm 12.7mm Dia29-983>7 Laser V-Coat (266nm) 266 12.70 +0.00/-0.25Crystal Quartz λ/4 10 - 5 6.00 Crystalline Waveplate Crystalline λ/10 @632.8nm <3