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上海晰微光电技术有限公司
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HOLO/OR 衍射光束整形器

HOLO/OR 衍射光束整形器

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HOLO/OR 衍射光束整形器是衍射光学元件 (DOE),可将具有近高斯轮廓的激光光束转变为在透镜焦点处具有均匀强度分布的清晰 2D 形状。这些衍射光束整形器具有两种类型,分别是平顶与稳定平顶。与稳定平顶光束整形器相比,平顶光束整形器的传输区域更大,但是散焦行为更佳。HOLO/OR 衍射光束整形器用于包括激光切割、划线与烧蚀在内的材料加工应用,以及诸如晶圆检验和光刻等照明应用。


  • 将高斯光束整形为平顶轮廓

  • 具有均匀强度的方形输出形状

  • 专为 532nm Nd:YAG 激光而设计

  • 与单模光束兼容

                              产品

标题产品编码CA (mm)涂层DWL (nm)Dia. (mm)基底厚度 (mm)Input Beam Mode输出形状1/e2  时的全角 (mRad)传输区域 (mRad)整体效率 (%) 
532nm, 25.4mm Dia., Top-Hat Diffractive Beam Shaper14-68022.9 Laser V-Coat (532nm) 532 25.40 +0.05/-0.15Fused Silica (Corning 7980)3.00 ±0.1SM TEM00, M²<1.5 Square 0.38 0.10 95 
532nm, 20mm Dia., Stable Top-Hat Diffractive Beam Shaper14-67917.5 Laser V-Coat (532nm) 532 20.00 +0.05/-0.15Fused Silica (Corning 7980)3.00 ±0.1SM TEM00, M²<1.2 Square 0.5 0.035 94 

                                技术数据