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通过使用任意球压试验(RBT),CaliBall™用于校准干涉仪传输球形。任意球压试验曾经非常流行,但是受球形材料限制了其测量精度。而 CaliBall克服了克这个精度限制,因为它由硅酸盐材料做成。直径为25mm的球分5个等级 (圆度为125nm),表面精度达到1.3nm rms,为不透明材料,反射率11%。Caliball™,在定标环境可以重复使用多次而不老化的一种实用解决方案。
校准传输球
1.3nm有效值完成
包括运动件和相关证书
标题 | 产品编码 | 支架 | 反射 (%) | 基底 | 注意 | Dia. (mm) | 表面精度,P-V (μm) | RoHS | Certificate of Conformance |
CaliBall 干涉校准仪 | 59-495 | 11.00 | Silicone Nitride | Surface Finish: 1.3nm RMS | 25.40 | ≤0.125 | 符合标准 | 浏览 | |
CaliBall II Interferometer Calibration Device with Zygo 4" Bayonet Mount | 19-418 | Zygo 4" Bayonet | 11.00 | Silicone Nitride | Surface Finish: 1.3nm RMS | 25.40 | ≤0.125 | 符合标准 | 浏览 |
CaliBall™是在一个运动可调件上有三个球,装在坚固的钢铁基台上,切掉一边,此时f/0.7传输球就可被校正。带 4" 卡口安装的 CaliBall™ 非常适合水平干涉仪安装,不需要额外的 x-y-z 安装配置。每个CaliBall™装备有显示圆度和光洁度的证明、完整的使用说明书和洁净室适合存贮事宜。
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