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上海晰微光电技术有限公司
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CaliBall™干涉校准设备

CaliBall™干涉校准设备

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通过使用任意球压试验(RBT),CaliBall™用于校准干涉仪传输球形。任意球压试验曾经非常流行,但是受球形材料限制了其测量精度。而 CaliBall克服了克这个精度限制,因为它由硅酸盐材料做成。直径为25mm的球分5个等级 (圆度为125nm),表面精度达到1.3nm rms,为不透明材料,反射率11%。Caliball™,在定标环境可以重复使用多次而不老化的一种实用解决方案。


  • 校准传输球

  • 1.3nm有效值完成

  • 包括运动件和相关证书

                            产品

标题产品编码支架反射 (%)基底注意 Dia. (mm)表面精度,P-V (μm) RoHSCertificate of Conformance
CaliBall 干涉校准仪59-495
11.00 Silicone Nitride Surface Finish: 1.3nm RMS 25.40 ≤0.125 符合标准浏览
CaliBall II Interferometer Calibration Device with Zygo 4" Bayonet Mount19-418Zygo 4" Bayonet 11.00 Silicone Nitride Surface Finish: 1.3nm RMS 25.40 ≤0.125 符合标准浏览


                                                 产品概览

CaliBall™是在一个运动可调件上有三个球,装在坚固的钢铁基台上,切掉一边,此时f/0.7传输球就可被校正。带 4" 卡口安装的 CaliBall™ 非常适合水平干涉仪安装,不需要额外的 x-y-z 安装配置。每个CaliBall™装备有显示圆度和光洁度的证明、完整的使用说明书和洁净室适合存贮事宜。